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【2h】

Use of spectroscopic ellipsometry for feedback control during the growth of thin AlAs layers

机译:使用光谱椭偏仪在薄alas层生长期间的反馈控制

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摘要

Copyright 1999 American Vacuum Society. Link to the original site http://scitation.aip.org/content/avs/journal/jvstb/17/3/10.1116/1.590728
机译:版权所有1999美国真空协会。链接到原始网站http://scitation.aip.org/content/avs/journal/jvstb/17/3/10.1116/1.590728

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